超精密テーブル・高精度XYテーブル
超精密の高精度テーブル
- 他では製作困難な高精度精密テーブルを設計製作できます
- 貴社の要求仕様をお知らせください。
専用テーブル／アクチュエータを製作いたします。
超精密テーブル AX 250G／350G
エアースライダー＋リニアモータ - 先端技術でニーズにお応えします
AX250G／350Gは、主要部材にグラナイト（斑れい岩）を使用した高精度でコストパフォーマンスに優れたエアースライダーです。
また、スライダーの性能を最大限に引き出すためアクチュエーターにはリニアモータを採用。
低速から高速までなめらかな動作を実現しました。
半導体やディスクの検査装置、微細加工の求められる短波長レーザ加工機など先端技術分野に最適です。
- 主要部材にグラナイト(斑れい岩)を使用。
環境に左右されにくく、高精度を維持します。 - スライダー、駆動部ともに完全非接触（潤滑剤不要）のため、クリーンでメンテナンスフリー。
- リニアモータは高推力のコイル可動タイプを採用。小型軽量で高加速度、高応答性が実現できます。
- レーザ測長器をはじめとする高精度測定器により、テーブルの性能を総合的に評価いたします。
仕様（AX250G）
| ストローク | 250mm |
|---|---|
| 最高速度 | 250mm/sec |
| 速度変動率 | ±1％ |
| 分解能 | 0.1μm ※1 |
| 絶対位置決め精度 | 5μm ※1，2 |
| 真直度 | 2μm ※2 |
| ヨーイング | 2秒 ※2 |
| ピッチング | 2秒 ※2 |
| テーブル全高 | 121mm |
| 上面テーブル寸法 | 280×200mm |
| ※1 | リニアスケール（テープタイプ）によるクローズドループ制御での値です。 リニアスケールの選定により分解能0.001μm以下の制御も可能です。 |
| ※2 | 精度仕様は、環境温度23℃の時の値です。 また、絶対位置決め精度は20℃の場合の換算値です。 |
外観図（AX250G）
超精密XYテーブル AX 350
エアースライダー＋リニアモータ - 先端技術でニーズにお応えします
超精密XYテーブルAX350は、300mmウェハーの検査装置をはじめ、高精度な位置決めを必要とするシステムのために開発されたテーブルです。
メンテナンス性に優れたエアーパッド方式のスライダーと速度変動の極めて少ないリニアモーターの組み合せで、高精度テーブルの新しい形を提案します。
- 主要部品にグラナイトと低膨張合金を使用。
経時変化の少ないシステム構成になっています。 - スライダーにはエアーパッド方式を採用し、「絞り」が詰まった時などのメンテナンス性に優れています。
- マグネット可動のリニアモーターは、ケーブルの移動による発塵がありません。
- レーザ測長器をはじめとする高精度測定器により、テーブルの性能を総合的に評価いたします。
仕様
| ストローク | 350×350mm |
|---|---|
| 最高速度 | 100mm/sec ※1 |
| 速度変動率 | ±1％（6mm/sec〜100mm/sec） |
| 分解能 | 0.01μm ※1,2 |
| 絶対位置決め精度 | 2μm ※2,3 |
| 真直度 | 0.5μm ※3 |
| ヨーイング | 0.5秒 ※3 |
| ピッチング | 0.5秒 ※3 |
| 石定盤外形寸法 | 1,000×1,000×200mm |
| テーブル全高 | 215mm（定盤上面より） |
| 上面テーブル寸法 | 350×350mm |
| ※1 | 最高速度は分解能やリニアスケールの応答速度、使用するコントローラの性能などによって決まります。 |
| ※2 | 高分解能リニアスケール（ハイデンハイン LIP401R、ソニー BS77等）によるクローズドループ制御での値です。 |
| ※3 | 精度仕様は、環境温度23℃の時の値です。また、絶対位置決め精度は20℃の場合の換算値です。 |
外観図
